3D共聚焦顯微鏡的作用及測量

3D共聚焦顯微鏡采用多孔共聚焦技術，結合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉盤取代偵測器的孔洞，再將物鏡垂直移動，以類似斷層攝影方式，可在短時間(約幾秒)內準確量測物體的三維數據。其測量方式是非接觸式，不會破壞樣品的表面，不需要在真空環境下測量，也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本，其在嚴酷的工作環境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在測量漸變較大的高度時，跟其他方法相比，可以更準確量測物體高度，建立3D立體影像，優勢相當明顯。

一個特殊改裝的固定工作臺可以承載大體積高重量的測試物體，結合一個可以自由移動的滾輪式工作臺，μsurf mobile移動式3D測量系統可以輕易的傳輸并且設置在任意一個地方進行使用。μsurf mobile特別為大體積樣品的測量而開發。例如，軋輥和車身。由于其便攜性，它非常適用于工廠的在線檢查。μsurf mobile移動式3D測量系統只需幾分鐘準備便可進行測量，并且可以方便地架設在測試對象上--因為它的重量只有5公斤。根據不同測量要求可以編輯不同的應用方案。配有鼻輪和專業解決方案軟件的μsurf mobile移動式3D測量系統可滿足了各種各樣的測量任務。

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